DUV光刻机应当加速了，欧洲智库突然发声：中国不给稀土，我们就不卖光刻机

"中国不给稀土，我们就不卖光刻机"

这句看似简单却火药味十足的宣言，最近从欧洲智库的报告中突然传了出来，瞬间点燃了全球科技圈。

根据Tomshardware报道，10月中旬欧洲多家知名智库联合发布报告，建议欧盟对荷兰ASML公司的深紫外(DUV)光刻设备实施全面对华禁运，进而迫使中方恢复稀土供应。

这一建议若被采纳，则标志着中欧博弈将进入前所未有的新阶段。

事情的起因是中国工业和信息化部10月初发布的新规，要求稀土出口必须经过"白名单"审核机制，特别是涉及光刻设备等半导体制造领域的申请将被纳入特殊审批程序。

钕、镝、铽这些拗口的化学元素，突然变成了谈判桌上最硬的货币。

这已经不是西方第一次打光刻机的主意。

2024年1月，美国率先把部分浸没式DUV拉进黑名单时，ASML的股价应声下跌，公司CEO温宁克在投资者会议上的那句话耐人寻味："过度管制只会逼出一个强大的竞争对手。"

现在看来，这句警告一语成谶。

当欧美国家正在加大对华的半导体管制之时，国产光刻机等芯片设备的发展就已经进入到了快车道。

今年上半年，我国首台商业电子束光刻机“羲之”问世，精度达到惊人的0.6纳米，线宽8纳米，远超EUV主流设备2-5纳米的水平。

与代价就是产品的效率过低，且由于生产一片晶圆的成本过高，基本无法实现大规模的商用化量产。

因此，国内光刻机的突围方向，依旧还得是现阶段业内主流的DUV光刻机。

欧洲智库提出“DUV光刻机换稀土”的原因也很简单，那就是目前在28纳米以下的半导体芯片生产过程中，中国企业仍需要借助ASML得DUV光刻系统。

国内DUV光刻设备的市场空白，正导致西方变本加厉的增加在相关领域的对华限制。

想要打破西方世界的封锁，国内有关DUV光刻系统的研发工作，就必须得到进一步的推动。那么，国内现阶段的光刻机做到了哪种水平？又能否在短期内实现国产替代呢？

根据公开资料显示，现如今的光刻机设备已经迭代了六代产品出来，其中，第五代就是现阶段国内急需完成攻关的DUV光刻机，业内成为ArFi光刻机也就是浸润式光刻机。

该设备是第四代ArF光刻机的升级版本，通过在光刻机设备中加入一层水的介质，实现光源波长的缩短，等效可以达到134nm，可以用于7纳米、5纳米芯片的制造。

目前，大陆的技术水准是在干式DUV光刻机，也就是理论65nm的最小制程工艺，在通过多重曝光等技术的加持之后，可以用于28纳米芯片的投产。

不难看出，我们距离所谓的浸润式DUV光刻机，其实只有一步之遥。

而导致国产光刻机发展缓慢的原因，就是由于光刻机设备涉及到了许多零部件供应商，荷兰ASML也是通过全球采购零部件，荷兰组装的方式来完成产品交付。

中国企业受制于外部供应链的限制，很多高性能的光刻机零部件全部都得我们自己制造，这也就导致了终端产品的发展速度受到了影响。

在打通国产干式光刻机的产业链之后，国内距离浸润式DUV光刻机设备其实就仅仅只差了一套技术验证。

两款光刻机有一个区别，那就是在浸润式设备中需要通过水来反射光源，将193nm波长的光线，通过这层水折射变，变成了134nm，然后再去照射硅晶圆，将光掩模板上的芯片电路图，刻录至硅晶圆上。

这一技术的瓶颈在于，如何控制光源折射的角度与效率，控制设备产生稳定的135nm波长的光线。这一技术难题一旦解决，荷兰DUV光刻机卡脖子的问题，就会迎刃而解。

在今年的9月份，外媒就曾发布报道，称国产的DUV光刻机已经进入中芯国际的生产线进行测试，并计划用该设备生产AI芯片。

国内也有媒体针对此事发表过报道，这也佐证了中国产DUV光刻设备，已经完成了核心零部件的科研攻关，并开始实施国产化的替代。

眼下，中国企业从荷兰ASML手中采购设备，看重的也就是对方的设备经过了市场长期的验证，比刚出来的国产设备要更加的可靠。

一旦中国国产DUV光刻机完成批量交付，到时候恐怕真的就没有荷兰ASML什么事了。

所以说，欧洲的这次“光刻机施压”实际上，就是暴露了对方的战略手段不足。

当中国宣布稀土需要出口许可时，欧洲人可能第一次体会到了被卡脖子的滋味。

那些藏在电动车电机里、风力发电机永磁体中、甚至军用雷达系统深处的稀土元素，原来离开中国的供应链自己真的生产不出来。

反观中国市场，在西方半导体设备管制的措施之下，只能够进口落后的DUV光刻系统，先进的EUV光刻机对方根本不卖给我们。

这也就导致了我们自主研发的光刻机设备速度、性能迭代在不断的加快。

至于，欧洲智库提出的方案，虽然不失为一次施压方法，但是，对于国内产业链现阶段的影响已经微乎其微。

欧洲应当看清楚现实，而不是在芯片问题上跟随美方的步伐。

中方管制稀土的目的非常明确，那就是要打击非法以及军工用途。

只要欧洲企业按照要求申请许可，也根本不用担心原材料会出现断供。对此，你又是怎么看的呢？欢迎大家留言、讨论！

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